晶圆量测设备空气弹簧如何选型
发布时间：2025-08-26 13:52 浏览量：1
给精密仪器“穿气垫鞋”：晶圆量测设备空气弹簧怎么选？
想象一下在晶圆厂，价值千万的精密量测设备正在检测比头发丝细百倍的电路。任何微小的震动——人走路、机器运转、甚至卡车经过——都可能让测量结果“飘走”，像拍糊的照片。这时，空气弹簧就是设备的“高级气垫鞋”。
它怎么起作用的？
空气弹簧内部充气，像个聪明的气囊。当外界震动传来，它通过压缩或释放空气来“消化”震动能量，让设备稳稳悬浮，隔绝干扰。
选型关键看两点：
“体重”要匹配 (承载能力 & 刚度)：
先算清楚设备有多重（包括底座）。
选空气弹簧时，它的支撑力（承载能力）要刚好托住这个重量，撑得太满或太空都影响效果。
它的“软硬度”(刚度)也要合适。太软，设备晃悠不稳；太硬，减震效果差。